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色散型光谱仪一般由一个或多个衍射光栅、一段光程以及一个探测阵列组成。光通过入射狭缝被准直照射在衍射光栅上,衍射光栅将光谱成分分散到不同的方向,最后凹面镜将分散的光聚焦到探测器阵列上得到光谱分布。这种光谱仪拥有超高分辨率、宽光谱范围和成熟的技术路线,被广泛使用在各个领域,但其依赖于笨重的色散元件、长光程等,难以实现尺寸的压缩。
通过缩短光程、简化光路、利用微纳制造减小元件尺寸等方法都能实现光谱仪尺寸的减小,但是这些方法会降低光谱分辨率和仪器性能。采用凹面光栅(图1A)、光栅-菲涅耳透镜(图1B)等作为衍射元件能够省略准直和反射元件,实现系统尺寸的压缩,并且已经实现了商业应用。
波导作为自由空间尊龙凯时的替代品,可以通过倏逝耦合来测量入射光光谱或被分析物的吸收光谱,能够减小光谱仪尺寸而不影响性能。在波导平面上加入如光栅(图2A)、光子晶体(图2B)、全息元件(图2C)、平面阶梯光栅(图2D)、透射波导光栅(图2E)、阵列波导光栅(图2F)等色散元件能够进一步减小光谱仪的尺寸,但制造误差,波导损耗和波导耦合等问题还亟待解决。
此外,进一步减小尊龙凯时探测器阵列的尺寸、提高探测灵敏度也能够实现性能更好的微型光谱仪,使用超导纳米线的单光子显微光谱仪已经能够进行超细光谱分析。
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