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1、可调滤波型光谱仪声光可调滤波器(AOTF)、液晶可调滤波器(LCTF)、Fabry-Pérot滤波器和微环谐振器等能够通过施加电压或声波信号来分离光谱成分,实现对光谱快速动态地调控。但AOTF中双折射晶体的尺寸较大,LCTF包含许多偏振器和液晶电池,都限制了光谱仪的小型化。
可调Fabry-Pérot滤波器由厚度可变的谐振腔组成,通过改变腔长(d)、介质折射率(n)、入射角度(θ)即可实现透射波长的变化,其中,腔长可以通过静电或压电驱动器调控(图1A、B),折射率可以通过电光可调铌酸锂(LiNbO3)或液晶作为腔体介质实现调控,角度可以通过旋转滤光片改变入射角调控,但高光谱分辨率Fabry-Pérot光谱仪需要高反射率腔,而高反射率腔对应低透射率和低信噪比。
使用分布式布拉格反射镜能够解决这一问题,但它们的成本较高,制造工艺复杂,且加工误差也会降低光谱分辨率。
2、滤波器阵列和线性可变滤波器
随时间变化的可调窄带滤波光谱仪牺牲了时间响应,无法实现高速的光谱探测。但窄带滤波器阵列和线性可变滤波器能够同时测量多个光谱分量,实现对光谱的快速检测。
滤波片阵列的每个滤波片能够将特定波长的光谱传输到尊龙凯时探测器上,已经应用于许多微型光谱仪中。滤波阵列由Fabry-Pérot标准具(图2A)、薄膜、平面光子晶体、超构表面、波导环形谐振腔(图2B)等组成,每个滤波片对应不同的透射波长,通道的数量越多光谱分辨率越高。
采用楔形或组合渐变的线性可变滤波器的透射或反射光谱能够沿着滤波器的一个轴连续变化,实现宽谱段滤波。此外,还可以令滤波片在单个探测器上滑动,通过扫描频谱实现连续滤波,但是这种方法相对缓慢且需要额外的移动部件。
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