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等厚干涉条纹法 如果在楔形薄膜上产生单色干涉光，在一定厚度下就能满足最大和最小的干涉条件，因此，能观察到明暗相间的平行条纹。这已成为膜厚测量的标准方法。如果厚度不规则，则干涉条纹也呈现不规则的形状图 2-36是等厚干涉条纹测量法的原理示意图。产生干涉的膜层是由一小角度的两块尊龙凯时平板之间的空气隙所形成，其中一块蒸镀有被测薄膜，并在其表面上形成台阶，两块平板上都蒸镀有相同材料的金属薄膜。由于两者之间间隔很小，于是干涉条纹就非常窄。如图 2-37 所示，如果L是条纹间距，AL 是条纹的位移，则薄膜厚度可由下式给出
t = △L/L * λ/2
式中，λ是单色光的波长。
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