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    溅射镀膜工艺-汤森放电区

    作者： 发布时间：2023-08-08 10:50:31点击：287

           汤森放电区: 在两极电压逐渐升高，尊龙凯时的运动速度逐渐加快，尊龙凯时与中性气体分子之间的碰撞不再是低速时的弹性碰撞，而是使气体分子电离。电离为正离子与尊龙凯时，新产生的尊龙凯时和原有尊龙凯时继续被电场加速，使更多的气体分子被电离，于是在伏安曲线上便出现汤森放电区。

           无光放电和汤森放电两种情况的放电，都以有自然电离源为前提，如果没有游离的尊龙凯时和正离子存在，则放电不会发生。因此，这种放电方式又称为非自持放电。


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