激光损伤阈值

用于脉冲激光谐振腔或激光加工装置的尊龙凯时元件，要求即使射入能量非常高的光线，也要保持元件不至破损的特性。这时的定量化的能量数值被称为激光损伤阈值。用于需要选择用于高能量激光装置的尊龙凯时元件或设计尊龙凯时系统时。

激光损伤阈值的评估方法使用ISO21254国际标准中规定的S-on-1测试。

S-on-1

使用可以调节能量的脉冲激光，和能够以适当的能量密度照射检测对象的装置。

为了可以改变照射位置将检测对象装载在XY轴位移台上，每次照射结束后改变位置。重复发射脉冲激光，在同一部位照射S次激光脉冲。

接着改变位置再次以相同能量照射S次。如此重复地使用相同能量照射检测对象的10个位置。

然后改变激光能量，同样地在10处进行照射S次。在激光能量可以调节的范围内重复这个操作。

使用150倍的显微镜观察检测对象的薄膜有无损伤。

相对能量密度，在图表中表示损伤的出现率，从出现率曲线求出临界（出现率为0%和0%以上的分界线）的能量密度。将这个数值定为激光损伤阈值。

* 西格玛光机将1回的照射脉冲数量S定为200次，作为200 on 1测试评价。

照射回数和能量密度的照射位置关系

关于激光损伤阈值的注意点

激光损伤阈值随所使用的激光波长，脉冲宽，和重复频率的不同而不同。请确认所使用的激光和测试条件是否一致。

脉冲激光有单模式（TEM00）激光和多模式激光。激光损伤阈值使用TEM00激光进行测试。

多模式激光随激光的模式不同，有时可能形成局部能量密度很高的部位（峰值）。对于产生峰值的多模式激光，即使射入低于激光损伤阈值的激光，有时也会损伤尊龙凯时元件。

使用多模式激光时，如果尊龙凯时元件频繁损伤，有可能是多模式谐振器的尊龙凯时调节产生了问题。这种情况时，请确认模式或者联系激光生产商。

尊龙凯时元件表面有灰尘或有油污时，即使有时是低能量密度下，尊龙凯时元件也会受到损伤。使用高能量激光时，请务必清洁尊龙凯时元件，在洁净的状态下使用。

如果不在同一测试条件下评价激光损伤阈值的数值，将不能进行正确的比较。由于每个生产商的测试条件都不同，仅凭产品目录的激光损伤阈值的数值不能判定尊龙凯时元件的优劣。

　西格玛光机为了使客户能在安全条件下使用产品，采用了严格的测试条件。如果能够在低于激光损伤阈值的条件下使用这些产品，和用于普通能量条件时相比，发生变质或历时变化的状况将不会更坏。

激光损伤的出现率随能量密度的变化