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    手动纳米平台

    品牌:西格玛光机

    产地:日本

    产品简介:

    手动纳米平台是西格玛光机全新概念的,全新产品,至今还没有确定上市时间,此款平台在普通的手动微分头和平台台面之间,加装一个压电陶瓷模块,该压电陶瓷模块,有一组手动钮控制,一个钮对应一个轴,实现平台台面位置的纳米分辨率的微调,不仅如此,它既有大行程(6mm),又有高精度(<20nm),还有小体积(25*25台面可选),实现了手动平台超高分辨率调整的理想手段。
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     手动纳米平台

        手动纳米平台是西格玛光机全新概念的,全新产品,至今还没有确定上市时间,此款平台在普通的手动微分头和平台台面之间,加装一个压电陶瓷模块,该压电陶瓷模块,有一组手动钮控制,一个钮对应一个轴,实现平台台面位置的纳米分辨率的微调,不仅如此,它既有大行程(6mm),又有高精度(<20nm),还有小体积(25*25台面可选),实现了手动平台超高分辨率调整的理想手段。


    技术指标: 

    指标项目

    台面尺寸

    25mm

    40mm

     

    60mm

     

    行程

    粗调(mm

    6

    13

    13

    微调(μm)

    30~50

    30~50

    30~50

     

    分辨率

    粗调(mm

    0.01

    0.01

    0.01

    微调(nm

    <20

    <20

    <20

     

    承载能力

    X/XY 轴(kg

    2

    3

    5

    Z轴(kg

    1

    1

    1

     *粗调:普通微分头

        微调:压电陶瓷

        手调控制器类型:1轴用,3轴用


    实测数据图:


               


    重要信息:

           我司是西格玛光机的中国区域一级代理商,只要有新产品上新,我们都是第一个知道,想了解更多手动纳米平台的资料,可以关注我们,不仅如此,我们还提供各种指标的成像物镜、加工物镜、光刻物镜等的定制,详情请咨询我们。


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