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品牌:西格玛光机
产地:日本
产品简介:
手动纳米平台
手动纳米平台是西格玛光机全新概念的,全新产品,至今还没有确定上市时间,此款平台在普通的手动微分头和平台台面之间,加装一个压电陶瓷模块,该压电陶瓷模块,有一组手动钮控制,一个钮对应一个轴,实现平台台面位置的纳米分辨率的微调,不仅如此,它既有大行程(6mm),又有高精度(<20nm),还有小体积(25*25台面可选),实现了手动平台超高分辨率调整的理想手段。
技术指标:
指标项目 | 台面尺寸 | 口25mm | 口40mm
| 口60mm |
行程 | 粗调(mm) | 6 | 13 | 13 |
微调(μm) | 30~50 | 30~50 | 30~50 | |
分辨率 | 粗调(mm) | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
微调(nm) | <20 | <20 | <20 | |
承载能力 | X/XY 轴(kg) | 2 | 3 | 5 |
Z轴(kg) | 1 | 1 | 1 |
*粗调:普通微分头
微调:压电陶瓷
手调控制器类型:1轴用,3轴用
实测数据图:
重要信息:
我司是西格玛光机的中国区域一级代理商,只要有新产品上新,我们都是第一个知道,想了解更多手动纳米平台的资料,可以关注我们,不仅如此,我们还提供各种指标的成像物镜、加工物镜、光刻物镜等的定制,详情请咨询我们。
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