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    5nm反馈级电动位移台

    5nm分辨率定位的反馈级电动位移台。

    有20mm、50mm两种行程。


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    台面尺寸:60×60mm;

    运动平行度:10μm;

    行程:20mm;

    重定位精度*1:±10nm;

    最小分辨率*1: 5nm;

    最大移动速度:5mm/sec;

    自重:0.5㎏;

    线杠:滚珠丝杠直径φ4mm、导程1mm;

    承载能力:49N(5kgf);

    注:可多轴,也可组合。

    5nm自动位移台.jpg


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