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西格玛光机1nm反馈平台

品牌:西格玛光机

产地:日本    

产品简介:FS-UPX是1nm分辨率定位的反馈级。fss - upx系列比高扭矩型fss - spx系列运行速度更快。内部尊龙凯时线性编码器内置在平台中心,以检测位置。

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产品介绍:

利用编码器的位置信息,通过反馈控制实现对目标位置的定位、定位的重复性和高分辨率的位置保持。
工作台有20mm和50mm两种行程。

FS-SPX_p.jpg

 

 规格

 零件编号

 fs-1020upx

 fs-1050upx

 JP价格[¥]

700,000

800,000

 

 

 机械规格

 行[mm]

20

50

 台尺寸[mm]

60×60

120×120

 进料螺杆[mm]

 滚珠丝杠直径。 6,1毫米铅

 定位滑梯

 十字滚轮

 主要材料

 铝

 表面

 黑色阳极氧化

 电机类型

 □28mm5相步进电机

 重量[公斤]

0.7

1.6

 

 精确规格

 最小分辨率[nm]1

1

1

 位置重复性[nm]1

+/- 2

+/- 2

 承重[N]

 49(5kgf)

 98(10kgf)

 运行并行性[μm]

10

10

 最大速度[毫米/秒]

5

5

 

 传感器

 极限传感器

 

 原产地传感器

 无

 接近原点传感器

 无

 配件

 信号循环

 2μm

 刻度电缆(2)

 2米


外形图
■FS-1020UPX

Zoom
■FS-1050UPX

Zoom

 

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