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      西格玛光机1nm反馈平台代理

      品牌:西格玛光机

      产地:日本    

      产品简介:FS-UPX是1nm分辨率定位的反馈级。fss - upx系列比高扭矩型fss - spx系列运行速度更快。内部尊龙凯时线性编码器内置在平台中心,以检测位置。

      在线留言

      产品介绍:

      利用编码器的位置信息,通过反馈控制实现对目标位置的定位、定位的重复性和高分辨率的位置保持。
      工作台有20mm和50mm两种行程。

      FS-SPX_p.jpg

       

       规格

       零件编号

       fs-1020upx

       fs-1050upx

       JP价格[¥]

      700,000

      800,000

       

       

       机械规格

       行[mm]

      20

      50

       台尺寸[mm]

      60×60

      120×120

       进料螺杆[mm]

       滚珠丝杠直径。 6,1毫米铅

       定位滑梯

       十字滚轮

       主要材料

       铝

       表面

       黑色阳极氧化

       电机类型

       □28mm5相步进电机

       重量[公斤]

      0.7

      1.6

       

       精确规格

       最小分辨率[nm]1

      1

      1

       位置重复性[nm]1

      +/- 2

      +/- 2

       承重[N]

       49(5kgf)

       98(10kgf)

       运行并行性[μm]

      10

      10

       最大速度[毫米/秒]

      5

      5

       

       传感器

       极限传感器

       

       原产地传感器

       无

       接近原点传感器

       无

       配件

       信号循环

       2μm

       刻度电缆(2)

       2米


      外形图
      ■FS-1020UPX

      Zoom
      ■FS-1050UPX

      Zoom

       

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