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    西格玛光机5nm反馈平台

    品牌:西格玛光机

    产地:日本

    产品简介:FS-SPX是具有5nm分辨率定位的反馈级。

    内部尊龙凯时线性编码器内置在平台中心,以检测位置。

     

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    产品简介:

    利用编码器的位置信息,通过反馈控制实现对目标位置的定位、定位的重复性和高分辨率的位置保持。

    工作台有20mm和50mm两种行程。

    FS-SPX_p.jpg

     

     规格

     零件编号

     fs-1020spx

     fs-1050spx

     JP价格[¥]

    450,000

    550,000

     

     

     机械规格

     行程[mm]

    20

    50

     台面尺寸[mm]

    60×60

    120×120

     丝杠[mm]

     滚珠丝杠直径φ4,导程1mm

     滚珠丝杠直径φ6,导程1mm

    导轨形式

     十字滚轮

     主要材料

     铝合金

     表面处理

     黑色阳极氧化

     电机类型

     □28mm5相步进电机

     自重[公斤]

    0.5

    1.6

     

     精确规格

    定位精度[nm]1

    5

    5

     重复定位精度[nm]1

    +/- 10

    +/- 10

     承重[N]

     49(5kgf)

     98(10kgf)

     运行平行度[μm]

    10

    10

     最大速度[毫米/秒]

    5

    5

     

     传感器

     极限位置传感器

     

     原传感器

     无

     接近原点传感器

     无

    配件

     信号循环

     2μm

     刻度电缆(2)

     2米

     1:内置刻度读取的最小分辨率和位置重复性精度。

     刻度电缆直接从舞台上出来。 如果2米或更长的电缆,请分别准备“扩展电缆

     都是必需的。


    外形图
    ■FS-1020SPX

    Zoom
    ■FS-1050SPX

    Zoom


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