尊龙凯时·(中国区)人生就是搏!

欢迎访问尊龙凯时平台厂家,SIGMA西格玛光机等国内外知名尊龙凯时品牌代理商-广州尊龙凯时科技有限公司!

全国咨询热线

020-38880135/38880857

产品中心

新闻资讯

联系我们

联系人: 周先生

手机: 13288666664

电话: 020-38880135 020-38880857

邮箱: sales01#jklxl.com

地址: 广东省广州市天河区棠东官育路22号B239房

西格玛光机5nm反馈平台公司

品牌:西格玛光机

产地:日本

产品简介:FS-SPX是具有5nm分辨率定位的反馈级。

内部尊龙凯时线性编码器内置在平台中心,以检测位置。

 

在线留言

产品简介:

利用编码器的位置信息,通过反馈控制实现对目标位置的定位、定位的重复性和高分辨率的位置保持。

工作台有20mm和50mm两种行程。

FS-SPX_p.jpg

 

 规格

 零件编号

 fs-1020spx

 fs-1050spx

 JP价格[¥]

450,000

550,000

 

 

 机械规格

 行程[mm]

20

50

 台面尺寸[mm]

60×60

120×120

 丝杠[mm]

 滚珠丝杠直径φ4,导程1mm

 滚珠丝杠直径φ6,导程1mm

导轨形式

 十字滚轮

 主要材料

 铝合金

 表面处理

 黑色阳极氧化

 电机类型

 □28mm5相步进电机

 自重[公斤]

0.5

1.6

 

 精确规格

定位精度[nm]1

5

5

 重复定位精度[nm]1

+/- 10

+/- 10

 承重[N]

 49(5kgf)

 98(10kgf)

 运行平行度[μm]

10

10

 最大速度[毫米/秒]

5

5

 

 传感器

 极限位置传感器

 

 原传感器

 无

 接近原点传感器

 无

配件

 信号循环

 2μm

 刻度电缆(2)

 2米

 1:内置刻度读取的最小分辨率和位置重复性精度。

 刻度电缆直接从舞台上出来。 如果2米或更长的电缆,请分别准备“扩展电缆

 都是必需的。


外形图
■FS-1020SPX

Zoom
■FS-1050SPX

Zoom


相关标签:

相关产品

Copyright © 2012-2023 版权所有:广州尊龙凯时科技有限公司【西格玛光机一级代理商|尊龙凯时平台厂家】 www.jklxl.com 粤ICP备12017400号 Powered By Oulucn.com

在线客服
联系方式

热线电话

13288666664

上班时间

周一到周五

公司电话

020-38880135 020-38880857

二维码
线
友情链接: